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 当社独自のXY位置補正機能についてご紹介します。
従来のプローバは、XYの位置決めをステージの機構精度で
実現しています。
これに対し、弊社のプローバでは、
ソフトウェアが位置決め精度を保証するという
新しいコンセプトの位置補正方式（以降、XY位置補正機能）を
開発し、採用しています。
XY位置補正機能では、ステージ分解能、繰り返し精度、
画像処理で得られた精度情報をソフトウェアで処理し、
位置決め精度を保証します。
以下にXY位置補正機能を使用した、位置決めの手法を説明します。
(1) ステージの補正
ステージの機構精度を基準ウェハ、またはガラスマスクで取得し補正します。
(2) ターゲットの補正（PAT）
実際にプロービングを、被測定ウェハのパターンを使用して補正します。
以上の補正で、理論上はステージ分解能及び繰り返し精度、画像処理で得られた補正情報によって、XYステージ精度が決定されるため、きわめて精度の高いプロービングを実現することができます。
この補正機能を応用することで、ダイシング後にフィルム張力やダイサー・ブレードによって発生した「歪み」や「たわみ」によるチップの位置ずれを補正し、プロービングすることができます。 |
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