XY位置補正・高低温
フルオートウェハプローバ |
| PCP-302NT |
PCP-302NTは8インチ及び12インチウェハ用の高低温プローバです。
従来の拡張性は保持し、独自の温度コントロール機構を開発したことにより、
冷却媒体の気化を無くし、効率のよい温度コントロールを 実現しました。
当社独自のXY位置補正機能とプロファイリング機能により、
温度によるウェハの変化に対し位置補正による高精度なプロービングが可能です。 |
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ウェハサイズ： 8インチ（200mm）, 12インチ（300mm） |
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温度制御範囲：-50℃～180℃ |
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ウェハのサンプリングによるXY位置補正 |
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小スペース ：W1740mm × D1000mm（チラーを除く） |
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プローバとチラーはクイックコネクタにより分離が可能 |
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