 〈オプション機能〉SLMモードの採用によりタクト大幅改善 |
SLMモードとは、"Stored Layout Marking"の略でタクト改善を目的として開発した
データ処理方法を指します。
このモードは、レーザコントローラの内蔵メモリを使用し、マーキング処理方法を
高速化するもの(※1)です。
PCP-LM8標準モード比約30％向上(※2)、PCP-105LM比約50％向上(※2)のタクト改善が
見込めます。
※1 前提条件は、スケーリングOFF、マトリクスマーキングモード（ロット内同一印字）となります
※2 当社調べ（ロット構成枚数、印字条件、プローバの設定値等によりタクトは変わります） |
基本波長（1,064nm）に比べて、UV波長（355nm）は素材への吸収率が格段に高く、
視認性の高いマーキングが可能です。
また、製品へ熱ストレスを与えないため、ダメージを抑えることができます。 |
・文字サイズ
・塗り潰し●
・文字間隔
・印字深さ |
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0.3mm×0.15mm
φ0.3mm
0.05mm
2.2μm |
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・文字サイズ
・塗り潰し●
・文字間隔 |
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0.3mm×0.15mm
φ0.3mm
0.05mm |
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基本波長（1,064nm）に対しUV波長（355nm）は1/3のため、その分スポットサイズを
細かく絞ることができ、限られたスペースに極小文字で印字ができます。 |
・文字サイズ
・塗り潰し●
・文字間隔
・印字深さ |
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0.08mm×0.08mm
φ0.08mm
0.05mm
2.6μm |
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・文字サイズ
・文字間隔
・印字深さ |
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0.1mm×0.1mm
0.05mm
1.6μm |
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サンプル印字機能は、印字パラメータを可変させたマトリクス状のサンプル印字を
おこなうことができます。
マトリクスの縦軸と横軸には、それぞれ異なる印字パラメータを割り付けることが可能。
【例】［縦軸］レーザーパワー 20%～80% ［横軸］スキャンスピード 200mm/s ～ 500mm/s
印字パラメータを段階的に可変させて印字されたサンプル印字結果を評価することで、
最適な組み合わせの印字条件を短時間で見つけることができます。 |
レーザヘッド内にパワーモニターを標準装備。
レーザー機器に最も重要な「レーザパワー」の管理を簡単・確実に実現します。 |
プローバに搭載する機能は、従来機（PCP-105LM）を継承。
安定した生産性を保証します。 |
・6インチ、8インチウェハ対応
・独自のウェハチャッキング方式
・高精度アライメント
・分割マーキング、個別マーキング対応 |
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