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PCPシリーズ

《ウェハプロセス》

ウェハを検査するプローバ

PCP-102SL / PCP-302N

特徴
・セミオート、フルオート対応
・スケーリングによる確実なコンタクト
・プローブ自動認識
・個別アライメントによるチッププロービング
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ウェハサイズ
100mm(4インチ) ~ 300mm(12インチ)対応

プローブカード仕様 マイクロポジショナー仕様

ウェハ両面へのコンタクトを行うプローバ
PCP-102WS

特徴
・大電流/高電圧測定に対応
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ウェハサイズ
100mm(4インチ) ~ 200mm(8インチ)対応

ダイシング後のWLCSP , リードレスパッケージ等を
検査するプロービングハンドラ

PCP-103SL / PCP-303N

特徴
・XY位置補正で正確なプロービング
・マルチエリアアライメント
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フレームサイズ
2-6-1, 2-8-1 および 2-12








※2
※1

※1 チャック交換にて6インチにも対応(オプション)
※2 チャック交換にて8インチにも対応(オプション)


ウェハプローバ製品の仕様を比較できます

プロービングハンドラ製品の仕様を比較できます

ソフトウェア製品

お手持ちのパソコン(※)でPCPシリーズのプロービング座標の編集やプローブの配置データなどを編集
PCPオフラインエディタ

特徴
時間のかかるプロービング座標の登録などが、
PCPシリーズの運転を止めることなく行えます。

※ Windows OS に限ります


弊社装置(PCPシリーズ)と電源やメータなどの市販されている計測器を組み合わせ、専用PCを使用して両者をコントロールする専用のシステム
測定システム

特徴
量産用途はもちろん、研究開発向けやお客様のニーズに
合わせた仕様での測定が可能です。

各種アクセサリ/他


マニュアルプローバ ポジショナー インカーユニット
インクディスペンサー  プローブカード

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