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| 製品名をクリックすると詳しい情報をご覧になれます。 |
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| 《ウェハプロセス》 |
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ウェハを検査するプローバ
PCP-102SL / PCP-302N
特徴
・セミオート、フルオート対応
・スケーリングによる確実なコンタクト
・プローブ自動認識
・個別アライメントによるチッププロービング
ウェハサイズ
100mm（4インチ） ～ 300mm（12インチ）対応
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| プローブカード仕様 |
マイクロポジショナー仕様 |
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ウェハ両面へのコンタクトを行うプローバ
PCP-102WS
特徴
・大電流／高電圧測定に対応
ウェハサイズ
100mm（4インチ） ～ 200mm（8インチ）対応
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ダイシング後のWLCSP , リードレスパッケージ等を
検査するプロービングハンドラ
PCP-103SL / PCP-303N
特徴
・XY位置補正で正確なプロービング
・マルチエリアアライメント
フレームサイズ
2-6-1, 2-8-1 および 2-12
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| ※1 チャック交換にて6インチにも対応（オプション） |
| ※2 チャック交換にて8インチにも対応（オプション） |
| ウェハプローバ製品の仕様を比較できます |
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| プロービングハンドラ製品の仕様を比較できます |
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お手持ちのパソコン（※）でPCPシリーズのプロービング座標の編集やプローブの配置データなどを編集
PCPオフラインエディタ
特徴
時間のかかるプロービング座標の登録などが、
PCPシリーズの運転を止めることなく行えます。
※ Windows OS に限ります |
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弊社装置（PCPシリーズ）と電源やメータなどの市販されている計測器を組み合わせ、専用PCを使用して両者をコントロールする専用のシステム
測定システム
特徴
量産用途はもちろん、研究開発向けやお客様のニーズに
合わせた仕様での測定が可能です。 |
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