PCP-102WSは、ウェハ両面（ダブルサイド）へのコンタクトを目的とした高精度プローバです。
当社独自のXY位置補正機能とプロファイリング機能を採用することで、ウェハの反りに対しても
効果的な位置補正が可能です。
ウェハ裏面のドレイン側でケルビン接続を行い、そのドレインセンス位置とウェハ表面の
ソースセンス位置とを合わせることで正確なRDS(on)（オン抵抗）の測定が可能です。 |
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ウェハ両面（ダブルサイド）へのコンタクトを実現 |
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ウェハの反りに対しても効果的な位置補正が可能 |
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顧客製品でのアライメント成功実績100％（国内実績） |
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正確なRDS(on)（オン抵抗）の測定が可能 |
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1チップ内の複数ポイントでプロービングが可能 |
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セラミックブレードによるウェハクランプ方式により、大電流／高電圧プロービングが可能 |
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低ノイズ：チャック上 －80db以上（参考値： 30KHZ～30MHZ ループANT実測値） |
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鉄定盤、溶接フレームよる高剛性筐体を採用し、低振動化を実現 |
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ローコスト、ハイスループット |
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小スペース（フットプリント）、省電力設計 |
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安定稼働（MTBF5000時間以上） |
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大径プリアライメントチャックの採用により、
反りのあるウェハ、薄いウェハ、TAIKO™ Waferへの対応も可能 |
| ウェハサイズ |
100mm（4インチ） ～ 200mm（8インチ） |
| プロービングエリア |
ウェハ：φ200mm |
| XYステージ |
リニアモータを採用 （繰り返し精度1um） |
| フットプリント |
小スペース：W 1200mm × D 860mm |
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PCPシリーズ累計500台の納入実績（2022年4月時点） |
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お客様のご要求に柔軟に対応いたします。 |
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複数台まとめてご購入の場合は、よりお得な価格をご用意しています。 |
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