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 XY位置補正機能

プラムファイブ特許技術[PAT. No.3248136]のXY位置補正機能についてご紹介します。

従来のプローバは、XYの位置決めをステージの機構精度で実現しています。

これに対し、弊社のプローバでは、ソフトウェアが位置決め精度を保証するという新しいコンセプトの位置補正方式(以降、XY位置補正機能)を開発し、採用しています。

XY位置補正機能では、ステージ分解能、繰り返し精度、画像処理で得られた精度情報をソフトウェアで処理し、位置決め精度を保証します。

以下にXY位置補正機能を使用した、位置決めの手法を説明します。

(1) ステージの補正
ステージの機構精度を基準ウェハ、またはガラスマスクで取得し補正します。

(2) ターゲットの補正(PAT)
実際にプロービングを、被測定ウェハのパターンを使用して補正します。


以上の補正で、理論上はステージ分解能及び繰り返し精度、画像処理で得られた補正情報によって、XYステージ精度が決定されるため、きわめて精度の高いプロービングを実現することができます。

この補正機能を応用することで、ダイシング後にフィルム張力やダイサー・ブレードによって発生した「歪み」や「たわみ」によるチップの位置ずれを補正し、プロービングすることができます。


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