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ダブルサイドウェハプローバ
PCP-102WS


 



 PCP-102WS

PCP-102WSは、ウェハ両面(ダブルサイド)へのコンタクトを目的とした高精度プローバです。
特許のXY位置補正機能とプロファイリング機能を採用することで、ウェハの反りに対しても効果的な位置補正が可能です。
ウェハ裏面のドレイン側でケルビン接続を行い、そのドレインセンス位置とウェハ表面のソースセンス位置とを合わせることで正確なRDS(on)(オン抵抗)の測定が可能です。


 特徴
ウェハ両面(ダブルサイド)へのコンタクトを実現
ウェハの反りに対しても効果的な位置補正が可能
顧客製品でのアライメント成功実績100%(国内実績)
正確なRDS(on)(オン抵抗)の測定が可能
1チップ内の複数ポイントでプロービングが可能
セラミックブレードによるウェハクランプ方式により、大電流/高電圧プロービングが可能
低ノイズ:チャック上 -80db以上(参考値: 30KHZ~30MHZ ループANT実測値)
鉄定盤、溶接フレームよる高剛性筐体を採用し、低振動化を実現
ローコスト、ハイスループット
小スペース(フットプリント)、省電力設計
安定稼働(MTBF5000時間以上)


 オプション
大径プリアライメントチャックの採用により、反りのあるウェハ、薄いウェハ、TAIKO™ Waferへの対応も可能


 仕様

ウェハサイズ 100mm(4インチ) ~ 200mm(8インチ)
プロービングエリア ウェハ:φ200mm
XYステージ リニアモータを採用 (繰り返し精度1um)
フットプリント 小スペース:W 1200mm × D 860mm


 その他
PCPシリーズ累計400台超の納入実績(2015年7月現在)
お客様のご要求に柔軟に対応いたします。
複数台まとめてご購入の場合は、よりお得な価格をご用意しています。

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